دانلود ترجمه مقاله حسگر لمسی سه محوری بدون تداخل با استفاده از جفت تیر های پیزو مقاومتی با داپینگ جداری
ترجمه در قالب فایل Word و قابل ویرایش میباشد
سال انتشار:2013
تعداد صفحه ترجمه:21
تعداد صفحه فایل انگلیسی:6
موضوع انگلیسی :A triaxial tactile sensor without crosstalk using pairs of piezoresistive beams
with sidewall doping
موضوع فارسی:دانلود ترجمه مقاله حسگر لمسی سه محوری بدون تداخل با استفاده از جفت تیر های پیزو مقاومتی با داپینگ جداری
چکیده انگلیسی:This paper reports on a triaxial tactile sensor using piezoresistive beams. The sensor chip is composed of
two pairs of sidewall-doped Si beams for shear stress sensing and one pair of surface-doped Si beams for
normal stress sensing. The sizes of the shear- and pressure-sensing beams are 180 m
×
15 m
×
20 m
and 250 m
×
50 m
×
20 m (length
×
width
×
thickness), respectively. The sensor chip is embedded
in a PDMS sheet 10 mm
×
10 mm
×
2 mm in size. Because the simple beam structure can be fabricated
easily, the proposed sensor is compatible with semiconductor device fabrication. The fabricated sensor
was evaluated for normal and shear stress (0–400 kPa and 0–100 kPa, respectively). The responses of
the corresponding beam pairs were found to be proportional to the magnitude of the applied stresses
without the influence of the other stresses. The relationship between the angle of shear stress and the
responses of each beam pair was also evaluated. Each beam pair detects only one axis’s shear stress and
showed little reaction to the other axes’ shear stress. As a result, the proposed sensor can measure the
three axial components of normal and shear stress independently
چکیده فارسی:این مقاله در مورد حسگر سه محوری گزارش می دهد که از تیرهای پیزو مقاومتی استفاده می کند. تراشه حسگر متشکل از دو جفت تیر si است که بطور جانبی برای دریافت تنش برش راپ شده است و دارای یک جفت تیر si راپ شده سطحی برای دریافت تنش نرمال است. اندازه های تیرهای دریافت کننده فشار و برش به ترتیب (طول×عرض× ضخامت) است. تراشه حسگر در یک ورقه PDMS به اندازه 10mm×10mm×2mm جای داده شده است. به خاطر اینکه ساختار تیر ساده به آسانی ساخته می شود, حسگر پیشنهادی سازگار با ساخت ابزار نیمه هادی است. حسگر ساخته شده از لحاظ تنش برش و نرمال ارزیابی می شود. پاسخ های جفت تیر متناظر متناسب با اندازه تنش های بکار برده شده بدون تاثیر تنش های دیگر است. رابطه موجود بین زاویه تنش برش و پاسخ های هر جفت پرتو ارزیابی می شود. هر جفت تیر تنها یک تنش برش محور را شناسایی می کند و عکس العمل اندک به تنش برش محورهای دیگر را نشان می دهد. در نتیجه, حسگر پیشنهادی، سه مولفه محوری تنش نرمال و برش را بطور مستقل اندازه گیری می
